Инновационный катод для электронного микроскопа создан в МЭИ

Фото из открытых источников

Учеными из Национального исследовательского университета «МЭИ» разработан катод для электронной пушки растровых электронных микроскопов, обладающих высоким разрешением. Новинку отличает применение модифицированной поверхности вольфрама, подвергнутого обработке в плазменной установке ПЛМ (плазменный линейный мультикасп), рассказывает портал «Научная Россия» со ссылкой на информацию университета.

Технология базируется на создании на поверхности вольфрама тончайших волокон диаметром от 20 до 40 нанометров при длине 300–400 нанометров. При подаче на катод электрического поля высокого напряжения (от 1 до 7 киловольт) эти волокна испускают электроны без необходимости нагревания, чему способствует явление полевой эмиссии.

Традиционные катоды изготавливают из тонкой вольфрамовой проволоки, к которой припаивается одиночный кристалл вольфрама. Новая методика предусматривает использование вольфрама с модифицированной наноструктурированной поверхностью, что серьёзно упрощает процесс производства.

Разработка найдёт применение в микроэлектронике, материаловедении, других направления науки и технологий, где необходимо детальное изучение структуры материалов на наноуровне.

Тестирование новинки дало впечатляющие результаты. Удалось достичь показателя тока электронной эмиссии с нового катода в 5 микроампер, тогда как привычные катоды способны обеспечивать ток пучка не больше 0,1 микроампера. Расширенный диапазон тока пучка электронов даёт нужный запас надёжности работы катода, также он обеспечивает стабильность и яркость получаемых изображений поверхности материалов.