Инженеры РФ разработали аналог американского лазера для микроэлектроники

Фото из открытых источников

Новосибирские специалисты представили новую лазерную систему, способную заменить американские технологии в производстве фотошаблонов для микросхем, сообщает агентство ТАСС со ссылкой на компанию "Оптические технологии", занимавшуюся разработкой устройства.

Созданный в Новосибирске лазерный комплекс предназначен для нанесения изображений на фотошаблоны с использованием ультрафиолетового излучения. Это оборудование ориентировано на производство микросхем и является уникальным в рамках отечественного рынка. До настоящего времени в России не существовало аналогов узкоспециализированных лазеров, подобных тем, которые производит американская компания Coherent и которые работают на длине волны 257 нанометров.

Как уточнили в компании "Оптические технологии", новая система включает в себя лазерный источник мощности от 10 до 30 милливатт, а также волоконный усилитель, позволяющий увеличить выходную мощность до 15 ватт. Помимо этого, в конструкцию встроен специальный кристалл, с помощью которого осуществляется преобразование частоты излучения. Представитель предприятия отметил, что за счет этой технологии появляется дополнительная генерация, усиливающая эффективность всей системы.

По словам представителя компании, программно-аппаратный комплекс был специально разработан для полной совместимости с российским оборудованием и материалами, включая фоторезисторы, уже адаптированные под заданную длину волны.

"Мы замещаем американские лазеры Coherent, которые долгое время не имели замены в России. Теперь это стало возможным", — подчеркнули в "Оптических технологиях".

Новый лазерный комплекс продемонстрировал не только высокую технологическую эффективность, но и минимальное энергопотребление. Устройство использует всего 1 ватт электроэнергии, что, по словам разработчиков, в два раза меньше, чем потребляет обычный бытовой чайник. Эта особенность может оказать значительное влияние на снижение эксплуатационных затрат в сфере микроэлектронного производства.

В настоящее время завершена сборка предсерийного образца системы, который передан для испытаний на белорусское предприятие "Планар", специализирующееся на выпуске массовых микросхем. Компания уже сотрудничает с "Оптическими технологиями" по другим направлениям, и теперь готова протестировать новинку в условиях серийного производства.

Разработка велась в стенах новосибирского Технопарка, также известного как Академпарк — одного из крупнейших высокотехнологичных кластеров в России. С момента своего основания в 2006 году он стал площадкой для более чем 300 инновационных компаний. В 2024 году технопарк увеличил совокупную выручку своих резидентов на 9%, доведя ее с 55 до более чем 60 миллиардов рублей. Общая площадь объектов, занимаемых резидентами, составляет 119,1 тыс. кв. метров, и в будущем планируется её расширение до 306 тыс. кв. м.